工艺冷却水（PCW）系统组成介绍

电机侧有异音：此问题经常发生，首先考虑加润滑油，然后就要考虑电机侧的轴承是否需要更换。

泵侧有异音：检查轴承是否需要更换，水泵进口前的桶式过滤网内是否有异物堵住进口，需定期清洗泵前过滤网。

机械密封处漏水（要进行切换并更换）。

泵侧端盖密封处漏水：主要原因是端盖打开后，O型密封圈变形导致，需要更换新的密封圈。

水泵的震动较大，主要有以下几种可能：

 电机侧的轴承需要更换；

 水泵侧的轴承需要更换；

 联轴器发生偏差，必须进行对中调整；

 联轴器上对接螺栓的橡胶垫圈老化裂开，或者螺栓松动造成，需更换或紧固；

 电机下面的地脚螺栓松动或者垫片已经松动，需要紧固或者调节垫片的厚度并调水平；

泵侧的叶轮发生长期磨损而导致，这个比较复杂，需要进行叶轮侧动平衡调试到最佳状态；

由于整个PCW水泵的管道是全部连接在一起的，而且距离较近，会产生共振，所以也要把整个管路下面拱架的固定螺栓定期进行检查紧固，以减少震动

板式交换器

换热器作用：

       将系统负荷端产的热量通过热交换，传至冰水系统中。

换热器参数：

      SUS304不锈钢板片和底板，EPDM垫圈，法兰连接，设计压力1.0MPa，测试压力1.5MPa。总冷量为 设计总冷量的1.1倍，设备压损≤0.05MPa，换热器必须预留空间以便通过增加板片以达到提高50%换热量要求

冷冻水下进上出，PCW上进下出，

使冰水尽量带走热量，充分进行热交换，并保证PCW出水温度稳定。

袋式过滤器

设置及作用：

        分为站房内过滤器与终端过滤器（FAB内接近工艺设备），作用是过滤水中的固态微粒，将PCW送至机台前进行过滤，减少污染物影响制程设备。

过滤器参数：

        滤件精度：40μm/50μm/75μm，设计压力1.0MPa，测试压力1.5MPa，流量满足系统100%的流量要求；≥40μm/50μm/75μm绝对直径的颗粒效率不小于99.9%，在0.3MPa压差下无泄漏。

滤芯更换注意事项：

当检测到袋式过滤器PDT压差值超过0.1MPa时，即需要进行滤袋更换。

检查过滤器进出口阀门是否关闭严密，检查压力表，确定内部压力为0

更换滤袋最关键的环节在于端盖处的密封圈的放置和不锈钢螺栓安装，检查Ο型密封圈和滤机上的Ο型槽，若Ο型密封圈变形，出现划痕或破裂，或Ο型密封圈接合部位有问题，应更换新的配件

放置滤袋，使滤袋环口和金属内网领口吻合；关闭顶盖、锁紧螺栓后，打开进水阀门，等排气阀有液体流出时关闭排气阀。

膨胀 水 箱

 

膨胀水箱用于闭式水循环系统中，其作用 为：

建立及保持系统的最小静压

预防因温度的变化，产生水体积的变化进而对系统压力产生过大的变化，即膨胀罐起到容纳膨胀水的作用外

补水箱的作用

状态说明：

       PCW膨胀水箱设置超高水位HH、超低水位LL水位（距水箱0.2米）报警。

       当水箱水位下降到中间水位时（假定水箱高度为2米，中间水位为距水箱底1米），打开补水管上的气动补水阀V-7；

      当水箱水位下降到低水位时（假定水箱高度为2米，低水位为距水箱底0.5米），打开补水管上的电磁阀补水阀V-8。

排气阀

为确保工艺设备端排水后快速完成重新注水投入运行及确保系统稳定性，PCW系统在主管道高点及每组支干管末端接支管处均增加排气阀。

 

排气阀工作原理：

利用水的浮力阻塞放气口。当管道最高点存气时，水的浮力减少或没有了，放气口被打开，在有压水的作用下，空气从排气口排出，气排完时，水的浮力作用在简单机械装置上阻塞了放气口。不同于集气罐的排气，自动排气阀无需人工操作。

 

安装施工注意事项：

自动排气阀必须垂直安装，即必须保证其内部的浮筒处于垂直状态，以免影响排气；

自动排气阀在安装时，最好跟隔断阀一起安装，这样当需要拆下排气阀时进行检修时，能保证系统的密闭，水不致外流；

自动排气阀一般安装在系统的最高点，有利于提高排气效率。